Helstu fjölpunktar BF hitauppstreymi

Oxunardreifingarofninn er lykilbúnaður til að framleiða PV frumur. Það blandar saman og dreifir snefilmagni af bór, fosfór og öðrum þáttum á kísilþakinu við hátt hitastig til að útbúa PN mótum og semja samþættar hringrásir frá því. Það er einnig hægt að nota til að útbúa SIOX filmur á yfirborði kísilþaksins til að vernda skífur.

Algengt er að nota hitauppstreymi sem mæla bæði innri og ytri hluta ofnsins til að stjórna innri hitastigi dreifingarofans sem gæti framkvæmt oxunarferlið. Hvert tilgreint hitastigssvæði er með ytri og innri hitauppstreymi til að ganga úr skugga um að niðurstöður ráðstöfunar séu áreiðanlegar. Innri hitauppstreymi eru notaðir til að mæla hitastig skífunnar, það hefur oft 3 ~ 9 mælikvarða, sem táknar hitastig skífunnar nákvæmlega. Ytri hitauppstreymi eru notaðir til að skynja ytra yfirborð ofnslöngunnar, hver og einn hefur oft aðeins eitt par af vírum, til að gefa óbeina mælingu á ofninum. Venjulega er hitastig oxunarferlisins lægra en dreifingarferlið, þannig að hægt væri að beita K og N aðal fjölpunkta BF hitauppstreymi.

Handvirk suðu

Sjálfvirk suðu

Einangrunarprófun

Laseramerking

Vöruhúsastjórnun

Hitauppstreymi saman

Greining á lofttæmi leka

Yfirborðsfæging

maq per Qat: Helstu fjölpunktar BF hitauppstreymis, aðal fjölmiðla BF hitauppstreymisframleiðendur, verksmiðja